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                        首頁 >> 證券行情 >> 山東首條12英寸集成電路用大硅片生產線通線
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                        山東首條12英寸集成電路用大硅片生產線通線

                         新華財經濟南10月16日電(記者賈云鵬)10月16日上午,山東有研艾斯半導體材料有限公司12英寸集成電路用大硅片產業化項目通線儀式在德州天衢新區舉行。該項目一期投資25億元,達產后可實現12英寸拋光片月產10萬片,是中國有研科技集團布局的重點項目,也是山東省內第一條12英寸集成電路用大硅片生產線。

                          據了解,12英寸硅片的面積是8英寸的2.25倍,可使用率是8英寸的2.5倍左右,單片可產出的芯片數量增加,經濟效益明顯。隨著集成電路制程和工藝的發展,硅片趨向大尺寸化和制程精細化,12英寸硅片為當前及未來較長時間內的主流產品。

                          山東有研艾斯半導體材料有限公司總經理閆志瑞介紹,12英寸硅片技術參數要求比8英寸更高,各工藝環節需要長期積累,其中單晶工藝是最為核心的技術,其決定了硅片尺寸、電阻率、純度、氧含量、位錯、晶體缺陷,山東有研艾斯攻克了單晶微缺陷、硅片幾何尺寸、硅片表面沾污等關鍵技術指標,已在多家國內外知名集成電路制造企業開展產品驗證。

                          目前,德州天衢新區依托中國有研“集成電路關鍵材料國家工程研究中心”,打造了占地800余畝、總投資93.4億元的中國集成電路關鍵材料(德州)基地,包括8英寸、12英寸硅片,高純濺射靶材,刻蝕設備用硅材料等項目。全部達產后將形成年產6英寸硅片180萬片、8英寸硅片276萬片、12英寸硅片360萬片、12—18英寸硅單晶504噸、高純濺射靶材4.3萬塊、高純貴金屬213噸的生產能力,成為北方最大的集成電路用大硅片生產基地。

                        文章來源:新華財經



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